201 态度
三月份的第二天,申城下了一场淅淅沥沥的小雨。 春节的气息犹在,元宵还没到来,气温一到晚上也不过就是四五度,又有冷风细雨扑在脸上,难免让人感到寒意。 但张汝京丝毫没有这样的感觉,他匆匆的从一间会议室走进另一间会议室,心里转着的都是当前的状况,既有行业大环境所面临的问题,也有眼前碰见的现实问题。 砰! 门被一把推开,冰凉的空气卷进办公室让众人不自觉的都皱了皱眉。 张汝京大步走进来,嗓子有些嘶哑的问道:“怎么样了?现在商讨的怎么样?” 没人回答,只有重新弥漫起来的二手烟。 张汝京到了办公桌边也不坐,直接一手按桌,倾着身子的再次说道:“又不是让你们去干EUV光刻胶,也不是立即把ArF搞好,一边搞,一边建,这就这么为难?” 他这次来申城主要就是为了ArF光刻胶研发的事情,如同他自己之前在琴岛搞的大硅片一样,高端光刻胶也是国内比较欠缺的一环。 虽说如今还没波及到这个,但冰芯上了名单,后续极可能会被追加更严厉的措施。 芯材公司是由大基金、冰芯、南大光电、芯刻微材料等公司联合成立的技术研究公司,主要目标就是取得ArF光刻胶的突破。 只是,但凡需要突破的东西都有难度,ArF光刻胶在EVU方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料,国内这方面的厂商目前都没什么苗头。 芯材是2012年成立,彼时也费了不少功夫,这个环节的公司们本身存在竞争关系,联合研发存在着利益分配的问题。 张汝京这一趟来之前问了问相关情况,从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知,当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。 冰芯在内地半导体行业里有着相当大的主导权,这既是它本身的技术水平,也是晶圆制造联盟在金融危机后做了不少整合的帮忙。 不管南大光电还是芯刻微材料,它们在内地都绕不开冰芯。 再加上,方总2011年7月份进行了事实上的部分的“同气连枝”整合,冰芯加上中芯更是内地半导体公司绕不开的存在了。 基于这种情况才有了“芯材”的诞生。 从2012年到2015年的现在,芯材专注于ArF光刻胶的研究,进度上嘛,还算可以,多次进行了小规模试验,调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。 只是,这种提升还达不到理想的状态,等到走出实验室,扩大到中试规模,工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。 这便没法大脚步的再往下走,况且,后面也有不少关隘,要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。 如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。 “芯材走在了正确的路上。” 这是来自晶圆制造联盟的评价。 可惜,眼下的局面略显急迫。 阿美严选的压力已经施加过来,后续追加措施也隐约可见,鉴于如此形势,冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设,只要ArF出了成果,初期的成本高一些都没问题。 但是,南大光电、芯刻微材料、新阳等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。 “张总,我们的上一次测试结论已经出来了,现有工艺不适合大规模生产,现在最重要的还是找出问题,看看怎么精细调整配方中的各组分比例,不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐的说道,“不合适啊。” 张汝京一皱眉,没等反驳就听到另一家企业负责人伍彦杰的声音。 “是啊,张总,咱们这个不适合大上快上,后面做验证的过程里本来就容易存在未知数,我理解冰芯的急切,可是,这事,它急不得啊!”伍彦杰苦口婆心。 张汝京听到这两位的话,又见办公室里的其他人不出声,他缓缓说道:“建厂不耽误你们寻找问题,调整配方,你们搞你们的,现在就是合资建厂,两线并举。” 伍彦杰见老头冥顽不灵,无奈道:“张总,这又不是你的中芯,不能搞大上快上啊,搞不出来合适的产品,厂子没效益,你们财大气粗,我们不行啊。” 中芯当年的发展速度很快,搞出了多地布局的战略,后来随着与台记官司的败诉,又碰见金融危机,不得不割肉收缩。 张汝京没有生气,耐着性子的说道:“形势不一样了,芯材做了两年多,晶圆制造联盟帮忙找资源,冰芯和大基金跟着投钱,那时候可以慢慢搞,现在不知道什么时候就被下绊子,不光你们这,其它的替代公司都是这样,我知道你们的心情,也知道你们各自公司有着自己的想法,但我还是得说,形势不一样了。” 伍彦杰不说话,现在研发的ArF主要是冰芯需要,自家的主力业务是在