237 技术不眠(6k)
刻胶时限不光我们知道,别人也知道,而且,中芯的16nm还需要时间,有时候,太先进也是个问题。” 胡正明笑着点了点头,冰芯现在就是太先进了。 除了这个因素引来限制,像眼下的光刻胶问题,其它工艺还可以想着办法的借用借用,冰芯的16nm工艺所需要的光刻胶与中芯20nm使用的光刻胶是不同的。 前者需要更高的分辨率,需要更好的光吸收和图案传递。 如果直接把中芯20nm工艺所用的光刻胶挪到冰芯16nm上面,会影响到芯片的尺寸精度和电路的完整性,更精细结构中也难以拥有合标的对比度,这就会让显影过程中难以区分图案和背景。 以及,不同工艺还存在兼容性问题,有可能出现残留物、桥接或缺失等工艺缺陷。 这些综合问题都会导致良率的大幅度下降,即便进行大量的工艺参数调整和优化工作,也会让生产成本急剧上升到难以接受的程度。 冰芯使用了第二代FinFET的16nm在当下仍旧属于全球第一,也由此带来太过先进的内地行业难以匹配的问题。 这一点也很难怪内地行业,全球分工的行业局面之下,光刻胶市场被美日厂商把持,就是去欧洲也买不到可用的光刻胶。 同样的,三星面临被日本断供光刻胶等材料的局面,它也无法解决,最终是韩日多次斡旋才最终达成一致。 冰芯在2012年就推动了国内厂商联合创建“芯材”,尝试解决卡脖子的问题,尽管获得一些成效,但仍旧无法让人满意,最终只能继续在“芯材”研发的基础上亲自下场,继续奔着目标努力。 这个过程已经持续3年,未来又需要多久才能突破,谁也没法打包票。 方卓给胡教授倒茶,两人沉默着喝了一会茶。 胡教授眼瞧着这么一会喝茶的功夫,小刘秘书都进来瞧了两会,他也就进一步阐述了自己关于冰芯的想法。 “方总,我看BIS和它驱使的日本厂商这次都是只把范围局限在冰芯上面,光刻胶是个尖锐的问题,它很锋利,但如果扩大范围,也可能遭到我们很多领域的反击。”胡正明说道,“所以,BIS只想打击最突出的冰芯。” 方卓微微点头,是这样的,虽然BIS通过修改FDP而延伸了管辖权,但它也不是所有的都去管,只是悬起了一把随时可以落下的宝剑,真正管的就是针对冰芯的设备、技术、材料的若干环节,而其中最尖锐的就是具有时效性的光刻胶。 “既然这样,既然冰芯现在真的可能减产停工,那就山不过来,我就过去。”胡正明缓缓说道,“我们把技术更多的流动起来。” “BIS有顾虑,只针对冰芯,不愿意全面进攻,那我们就趁着这个时期加快中芯的技术研发。” “中芯不仅有光刻胶,现在还有比冰芯先进的NXT:2000i,这甚至是除了EUV之外最先进的光刻机。” “中芯这个平台可以有更大作为,我们有力量更快的催动中芯成为易科的备用厂商,我们还有机会继续保持对更先进制程的研发。” “虽然中芯的不少设备都是美系,但我们先解决有没有,再解决其它的优化问题,良率反正是可以牺牲的。” “既然BIS那边有顾虑,它不想,它不敢这个时候更大范围的施加措施,不管是竞选因素也好,还是利益纠纷也罢,那我们得抓住这样也许也不多的时间让技术不眠。” “方总,你先前没有推动中芯和冰芯的合并是对的,如果我们能在中芯的基础上再继续把制程往前推进一步,情况又有不同。” 胡正明说到这里,笑道:“中芯正统在冰芯,冰芯正统也可以在中芯嘛。” 方卓明白了胡教授的意思,缓缓说道:“胡教授的意思是让梁博士带人到中芯?” 胡正明颔首:“你们之前和宝岛的联电都可以谈到让梁孟淞去那边当顾问,中芯又有什么不可以?担忧中芯也一并被限制?如果那样,又能比现在的局面恶化多少?” 他从沙发上起身,在办公室里踱步:“华力一期的去美化45nm甚至能跑出具有竞争力的良率,冰芯渐渐拥有对设备工艺调整的经验,新阳庐州的研发必然能出结果,我们只在如今的基础上就能有DUV+SAQP的10nm方案,这还不是它的极限,还能怎么恶化呢?” 胡正明看向方总,笑道:“方总,你说,还能比现在更恶化吗?我往后看,也就是现在这个阶段最为艰难。” 中芯同样没买到EUV,但它拿到了比冰芯现有设备还先进的NXT:2000i,而后者的DUV+SAQP方案已经推进到10nm,有希望继续拓展至7nm。 冰芯现有的16nm制程可以保证2016年全年的优秀竞争力,可以为2017年产品提供不错的竞争力,如果再往前推进一步,那就至少又是两年时间。 姑且不算7nm,只看正在优化和研发的这两个工艺节点便是4年时间。 胡正明绝不相信有这样的基础,四年后会比现在更糟。 方卓思考片刻,赞同的点了下头,沉吟道:“那我和梁博士