但即便如此,那也是依托于整个国家的基础产业在过去几十年来的长期积累,同时还有过去十多年来在多个大项目的持续带动下陆续发展起来的一些子系统,材料突破。
比如光源部分,南方光学可是直接收购了一家具有生产krf光源实力的光学厂商,在这个基础上进行优化设计,提升整体性能后,才最初来了合格的商用krf光源系统。
可不是说南方光学自己从头搞起来的!
还有arf光源系统也差不多,之前的物镜,光源等很多领域,其实国内已经具备了一定的基础,南方光学在这基础上进行整合,然后优化设计。
而放大到整个前道光刻机项目里也是类似的情况,
海湾科技的前道光刻机的研发里,其实主要工作不是发明创造,而是优化整合。
用他们自己的话来说就是:争取让这一堆性能都不咋地的破烂玩意,通过精妙的设计,做到稳定,长期,高效的生产出来先进制程的芯片!
这是他们内部的一些工程师的自嘲态度:我们啊,就是一群玩破烂的!
对比荷兰,日本的光刻机同行们,海湾科技的工程师们,还真就是玩破烂的……他们所能够得到的零配件性能,差距其实不小。
因此海湾科技的工程师们,其实要面临比荷兰asml,日本尼康的工程师们更复杂,更艰难的问题!
他们要用一大堆性能不咋地的零配件,然后装配出来一台性能不能差国外同类产品太多的duv干式光刻机,乃至后续的duv浸润式光刻机。
这是一项非常具有挑战性的任务。