芯片,这一次试产的目的主要还是看良率,效率这些性能指标,至于光刻精度的话,之前我们已经进行了大量的测试,是完全能够满足我们的四十纳米工艺的光刻机精度的!”
“并且我们的光刻机也具备了二十八纳米工艺所需要的套刻精度,不过在一些技术指标上还有所欠缺,现阶段采用二十八纳米工艺的话,会导致生产成本的比较大幅度的上涨。”
“甚至理论上,我们这台光刻机,也能勉强用于十八纳米甚至十四纳米工艺的生产,只是成本就太高了,不具备实际商业价值!”
“目前我们微电子这边的规划是,前期采购的这款hduv-400型号,主要还是用于四十五、四十纳米乃至二十八纳米工艺的逻辑芯片,或者是部分四十纳米、三十纳米、二十五纳米工艺的储存芯片的生产!”
“这几个工艺节点上我们的订单也非常多,产能需求量大,足以给我们的400型光刻机起步订单了!”
“但前提是能够满足性能需求,不是勉强能用,而是要能大规模成熟使用,并成本可控,具备商业价值!”
此时王道林道:“精度问题以及成本控制问题,我们正在积极进行技术研发,以解决部分技术问题,这也是需要把设备拉到你们微电子这边来的原因,我们需要晶圆厂方面的大量测试和配合,然后才能够解决问题,提升良率,进行成本控制!”
丁成军道:“配合问题伱们这边不用担心,我们会积极进行各种技术配合的。”
王道林道:“给我们三个月时间,我们就能够解决这些问题,绝对是能够满足二十八纳米生产线的,丁总啊,来多几套订单啊!”
丁成军则是道:“只要你们能够解决问题,订单有的是,你们不用担心。”
王道林:“那说好了啊,这一批你保底得给我来个四十台的订单啊,不然我这边压力太大了,这光刻机研发每时每刻都在烧钱啊,没订单真顶不住!”
丁成军瞄了他一眼:“你真敢开口,一台duv浸润式光刻机几千万美金,你一张口就要四十台订单!”
说罢,丁成军却是又道:“不过,只要你能够把技术问题解决了,我还是那句话,订单有的是,四十台也不是问题!”
“这市场足够大,容得下你们四十台的订单!”
“不过,你们这个400型号还是差了些,套刻精度不太行,只有五点五纳米,用来搞二十八纳米工艺节点还可以,但是用来搞我们的十八纳米工艺乃至十四八米工艺,就差了些了!”
“你们把套刻精度提升上来,再把双重曝光做好了,能够做十八纳米乃至十四纳米,甚至七纳米的时候,你还怕没订单?到时候我整个微电子的光刻机订单都是你的!”
王道林道:“这不巧了,我们正在开发的500型就刚刚好啊,套刻精度大幅度提升啊,足足三点五纳米呢,而且双重曝光技术也进行了升级改进,这种水准足以大规模量产十四纳米的芯片了,并且生产效率还很高,成本也低!”
“要不,你先来几套预订单?放心,顶多明年夏天我就能够给你供货!”
丁成军都无语了:“你好歹拿个样机出来啊,再来拉订单啊!”
徐申学在一旁看着,没有多说话!
这几年,海湾科技是逮着智云微电子,玩命撸羊毛,从早期的i线光刻机,再到krf光刻机,然后到duv干式光刻机,再到现在的duv浸润式光刻机,再加上其他一些核心设备,如蚀刻机等等。
还没弄出来呢,就找智云微电子拉预订单了。
不过海湾科技的项目团队,也的确够给力,基本都保质保量的把产品给拉出来,不至于让智云微电子那边的投资打水漂。
海湾科技这边的各类项目团队,一共有着七八个s级科研名额,轮流在各项目组里使用呢,其技术能力绝对够强悍。
如今,整个半导体产业,尤其是设备制造以及耗材领域,也就是仙女山控股体系下,几乎占用了徐申学手底下科研系统的大半s级科研名额,加起来有三十五个。
连智云微电子这个搞芯片制造的,智云半导体这个搞芯片设计的,然后再加上ai项目以及其他各种乱七八糟的项目,整个智云集团以及徐申学名下其他诸多企业里使用的s级科研名额使用,一共也才十五个。
除了少数核心项目外,其他各项目组都得轮流着用s级别的名额。
但是仙女山控股那边,很多项目都是常年有着s级别的科研名额使用的。
由此可见仙女山控股旗下的半导体设备以及耗材领域有多重要。
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丁成军和王道林,陪着徐申学说话聊天的时候,前方的400型光刻机生产测试也有了结果。
技术人员很快把相应的测试结果拿过来,并且还是附带了和asml光刻机的一些技术参数度对比。
徐申学看了看,感觉很不错,虽然各方面还是落后于asml的先进型号的光刻机,但是整体上已经达到了堪用的水准。
至少用来生产二十八纳米工艺的芯片是没有问题的,只是现阶段这台测试样机的生产成本相对比较高一些,直接