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第九三八章 提案

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年、八六年损失一亿美元,不得不裁员七成;八八年,美国通用信号公司以七千六百万美元收购了陷入财务困境的gca,为了与尼康竞争,sematech美国半导体制造技术战略联盟资助gca开发成功kr光刻机,实现了1μm制程工艺,但尼康光刻机的制程工艺提升到800nm,gca的高端市场份额没有多大起色。

六六年,中k院109所与沪海光学仪器厂联手协作成功研制中国第一台光刻机、65型接触式光刻机。

八一年,中k院半导体研究所研制成功jk1半自动接近式光刻机。

八二年,109厂、冰城量具刃具厂和阿城继电器厂共同研制成功kha751型半自动接近式光刻机,在指标上已经完全对标日本的pla500型。

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